激光光學(xué);激光誘導(dǎo)放電等離子體;極紫外光;輻射磁流體動力學(xué);轉(zhuǎn)化效率...[繼續(xù)閱讀]

    激光器;高次諧波;極紫外激光;13.5 nm光源;軟X射線;飛秒激光...[繼續(xù)閱讀]

    先進光刻;超越極紫外;多層膜;反射率;界面工程...[繼續(xù)閱讀]

    探測器;極紫外;閃爍體;氣體探測器;寬禁帶半導(dǎo)體探測器...[繼續(xù)閱讀]

    極紫外;化學(xué)隨機性;光子隨機性;光刻膠;光酸遷移距離...[繼續(xù)閱讀]

    測量;極紫外光刻光源;套刻;光學(xué)鄰近效應(yīng)校正;對準(zhǔn)...[繼續(xù)閱讀]

    非線性光學(xué);超快光學(xué);高次諧波;極紫外光源...[繼續(xù)閱讀]

    非線性光學(xué);高次諧波;極紫外光源;飛秒激光器;極紫外成像檢測...[繼續(xù)閱讀]

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    瞬態(tài)效應(yīng)環(huán)形振蕩器物理不可克隆函數(shù)(TERO PUF);強物理不可克隆函數(shù)(strong PUF);可編程延遲線;低開銷;可靠性增強...[繼續(xù)閱讀]