氣囊拋光藍寶石弧面研究分析

摘要： 隨著國防軍工和LED產業(yè)發(fā)展，對藍寶石襯底的需求和形狀復雜度的要求逐步提升。藍寶石傳統(tǒng)拋光方式如化學機械拋光存在效率低、曲面加工效果不佳等問題，而氣囊拋光作為快速拋光方式之一，適用于各種曲面的拋光，故將氣囊拋光技術應用于藍寶石弧面拋光。首先基于機器人平臺建立拋光運動模型，隨后通過單因素試驗和正交試驗得到較優(yōu)工藝參數(shù)，最后在較優(yōu)工藝參數(shù)下進行整弧面拋光并探究拋光時間對藍寶石表面質... （共9頁）