多通道雙晶單色器平行度測量與運動軌跡規(guī)劃

摘要： 針對雙轉(zhuǎn)輪多通道雙晶單色器的平行度誤差補償問題，提出一種基于光電自準直儀的多通道雙晶單色器準靜態(tài)雙晶衍射面平行度測量方法以及一種S形曲線軌跡規(guī)劃方法。分析多通道單色器的結(jié)構(gòu)及運動特點，基于光電自準直儀提出多通道雙晶單色器平行度測量系統(tǒng)的總體框架及測量具體流程。結(jié)合多通道雙晶單色器運動特點，提出一種S形曲線軌跡規(guī)劃方法，并基于平行度測量結(jié)果對單色器運動軌跡進行優(yōu)化設(shè)計。最后，在搭... （共13頁）