一種基于S型電磁超材料的高溫溫度傳感器設(shè)計

摘要： 針對目前超材料溫度傳感器存在的量程小且靈敏度較低的問題，設(shè)計了一種碳氮化硅基的S型超材料的高溫傳感器。通過CST電磁仿真軟件對超材料溫度傳感器進行模擬仿真，在其他結(jié)構(gòu)參數(shù)一定的情況下，對金屬條的長度、寬度、厚度、條間隙及基板厚度等參數(shù)進行了設(shè)計與優(yōu)化，確定了傳感器結(jié)構(gòu)的最佳尺寸，同時分析了傳感器的諧振頻率對溫度的影響。結(jié)果表明，在28℃～1 000℃下平均靈敏度可達5.674 ... （共7頁）