磁場輔助激光生長類金剛石膜的微結構及光學性能

摘要： 在脈沖激光沉積技術中引入非均勻磁場,探索磁場約束激光等離子體條件下生長類金剛石膜的特性,為進一步提高類金剛石膜中sp~3鍵含量、增強微結構調(diào)控提供理論和實驗基礎.計算了磁場的磁感應強度及其磁力線分布,仿真了碳離子在磁場約束下的飛行軌跡,顯示出磁場限制了碳離子的自由膨脹,使其螺旋前進并向永磁體中心區(qū)域聚集.膜層表面干涉和橢偏測量的擬合參數(shù)顯示,磁場的磁感應強度越高,激光生長類金剛...