氧化鎵懸臂式薄膜日盲探測(cè)器及其電弧檢測(cè)應(yīng)用

摘要： 金屬-半導(dǎo)體-金屬(MSM)型氧化鎵薄膜探測(cè)器的性能高度依賴于氧化鎵薄膜的均勻性,工藝難度較高,對(duì)規(guī)?；⒘慨a(chǎn)化薄膜探測(cè)器提出了挑戰(zhàn).本文首次在量產(chǎn)化懸臂式薄膜芯片表面物理沉積氧化鎵薄膜,實(shí)現(xiàn)了一個(gè)五對(duì)叉指電極結(jié)構(gòu)的MSM型氧化鎵薄膜日盲探測(cè)器.得益于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝制備的懸臂式電極結(jié)構(gòu)保護(hù)了內(nèi)部電路與探測(cè)薄膜的完整均勻性,所獲得的氧化鎵薄膜雖然是非晶結(jié)構(gòu),但探測(cè)器仍...