低溫快速制備基于溶液工藝的高性能氧化銦薄膜及晶體管

摘要： 利用脈沖紫外線輔助熱退火在200℃的低溫條件下,5 min內(nèi)制備了基于溶液工藝的氧化銦薄膜及薄膜晶體管.對(duì)比傳統(tǒng)熱退火,研究了脈沖紫外線輔助熱退火對(duì)氧化銦薄膜的表面形態(tài)、化學(xué)結(jié)構(gòu)和電學(xué)特性的影響.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,脈沖紫外線輔助熱退火方式能夠在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)改善氧化銦薄膜的質(zhì)量及薄膜晶體管的性能.原子力顯微鏡和場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡結(jié)果顯示該薄膜表面較傳統(tǒng)熱退火制備薄膜表面更為致密平坦...