MOCVD生長ZnO薄膜的氣相寄生反應(yīng)路徑研究

摘要： 本文利用量子化學(xué)的密度泛函理論(DFT),研究了金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)生長ZnO薄膜過程中二乙基鋅(DEZn)與叔丁醇(t-BuOH)體系的氣相寄生反應(yīng)機(jī)理。通過計(jì)算不同溫度下反應(yīng)路徑的Gibbs自由能變化，從熱力學(xué)角度詳細(xì)分析關(guān)鍵中間產(chǎn)物(HOZnOBu^t、H(ZnO)₂Bu^t、HZnOH)的水解及二聚物(Zn₂O₂H₄、Zn₂O₄H₄、Zn₄...