ICF激光驅動裝置用大尺寸激光薄膜元件

摘要： 大尺寸高功率激光薄膜元件是我國神光系列等大型激光裝置中的關鍵元件，常采用電子束蒸發(fā)技術，在高質量光學玻璃基底表面，通過交替沉積兩種或多種材料制備而成。典型的高功率激光薄膜元件需具有特定的光譜性能以滿足激光系統(tǒng)的光束傳輸需求，優(yōu)良的力學性能以最小化波前畸變，高的激光損傷閾值以保障高功率激光裝置的安全穩(wěn)定運行。基于大尺寸高功率激光薄膜元件的關鍵性能，在調研國內外相關研究工作的基礎上... （共18頁）