小尺寸納米顆粒的SEM高分辨成像模式探究——以Ni₂P為例

摘要： 相比透射電子顯微鏡（TEM），掃描電子顯微鏡（SEM）具有批量進(jìn)樣、成本低、三維成像的優(yōu)勢(shì)，但小尺寸納米顆粒在進(jìn)行SEM成像時(shí)存在容易積碳、分辨率不足、形貌結(jié)構(gòu)信息弱等技術(shù)難題。文章以超小空心（34.4 nm）、實(shí)心（13.3 nm）Ni₂P納米顆粒為例，重點(diǎn)探究了如何通過(guò)調(diào)控工作模式、工作距離、加速電壓、束流等參數(shù)獲得分辨率高、形貌結(jié)構(gòu)清晰的SEM圖像。研究表明，高分辨模式...