一種高真空零部件放氣率測試裝置的研制

摘要： 材料的真空放氣特性是聚變裝置需重點研究和關注的內容。為了研究大尺寸組件在聚變裝置真實運行環(huán)境下的放氣特性，基于對稱結構流導法針對性設計研制了一套放氣率測試裝置，該裝置能模擬聚變裝置烘烤溫度條件（室溫～300℃）且測量范圍覆蓋(10^-5～10^-9) Pa·m~3·s^-1量級。此外，重點針對樣品室的加熱、冷卻系統(tǒng)進行熱仿真驗證以確保零部件在放氣率測試時能模擬其在托... （共11頁）