一種擺式諧振加速度計的微杠桿結構設計與分析

摘要： 為提升擺式諧振式加速度計性能，設計了一種將質(zhì)量塊與微杠桿結構一體化的擺式微杠桿結構，實現(xiàn)慣性力的敏感與放大，提升結構的魯棒性。首先建立了微杠桿結構力學模型，并進行了關鍵參數(shù)計算。其次，根據(jù)微杠桿結構放大倍數(shù)影響機理，分析了質(zhì)量塊、支撐梁及微杠桿結構尺寸參數(shù)對放大倍數(shù)的影響；理論分析與有限元仿真結果均表明，支點梁與輸出梁的寬度應作為該類微杠桿的關鍵優(yōu)化參數(shù)。最后，根據(jù)上述結論對現(xiàn)... （共10頁）