130 nm 7T SOI SRAM總劑量與單粒子協(xié)和效應(yīng)研究
原子能科學(xué)技術(shù)
頁數(shù)： 7 2023-09-23
摘要： 為進(jìn)一步闡明SOI器件中總劑量效應(yīng)(TID)與單粒子效應(yīng)(SEE)間的協(xié)和效應(yīng)，本文基于SOI工藝特征尺寸為130 nm的國(guó)產(chǎn)7T結(jié)構(gòu)SRAM進(jìn)行了相關(guān)研究。通過對(duì)4組SOI SRAM開展了不同TID輻照后的SEE實(shí)驗(yàn)，得到器件單粒子翻轉(zhuǎn)(SEU)截面隨TID的變化規(guī)律。SOI SRAM的SEU截面在TID輻照后呈現(xiàn)明顯的降低，最大在750 krad(Si)劑量輻照后下降80....
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