2 m平面鏡檢測光路偏心調整誤差影響分析

摘要： 大口徑平面鏡面形高精度檢測是一個精密裝調的過程，面形恢復精度易受檢測過程中人為主觀因素的干擾。為解決大口徑平面鏡高精度面形檢測問題，對光路檢測偏心誤差以及由偏心誤差引起的瑞奇角計算精度改變、干涉儀中心到平面鏡距離等聯(lián)動誤差進行分析。通過使用光學軟件搭建2 m平面鏡檢測模型，設定不同的偏心誤差獲得系統(tǒng)波像差，解算系統(tǒng)波像差數據獲得待測平面鏡面形數據，與預設標準面形進行對比。分析發(fā)... （共9頁）