邊緣空氣層薄膜體聲波諧振器的設計與制備

摘要： 壓電薄膜存在固有的對壓電效應的非線性遲滯響應，并且聲波有向邊緣傳播的橫波分量，二者都會產(chǎn)生聲波的能量損耗。該文設計了一種具有邊緣空氣層結構的單晶氮化鋁薄膜體聲波諧振器，可以減小非線性遲滯的機電損耗并阻止橫波能量泄露，提高諧振器的品質因數(shù)。使用COMSOL對設計的器件進行有限元模擬仿真，并成功制備出具有邊緣空氣層結構的諧振器進行測試驗證。 （共5頁）