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合成射流傳熱特性及其在MEMS散熱應(yīng)用研究

機(jī)械工程學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù): 13 2023-12-20
摘要: 盡管現(xiàn)有常用冷卻技術(shù)可為微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro electro mechanical systems, MEMS)的散熱提供解決方案,但實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的高效散熱仍然是一個(gè)嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。與傳統(tǒng)冷卻技術(shù)相比,合成射流(Synthetic jet, SJ)是一種更加有效的散熱技術(shù),它為MEMS的散熱提供了潛在解決途徑。首先概述SJ的形成、發(fā)展及演變,在解釋流場(chǎng)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上對(duì)SJ傳熱特...

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