基于圖像預(yù)處理的光學(xué)元件表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)

摘要： 在測(cè)量光學(xué)元件表面粗糙度時(shí)，測(cè)量結(jié)果往往比較片面，為此設(shè)計(jì)基于圖像預(yù)處理技術(shù)的光學(xué)元件表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)。獲取原始元件表面粗糙度干涉圖像，通過(guò)對(duì)表面形貌圖像實(shí)施圖像去噪處理與傾斜校正處理獲取濾波結(jié)果，通過(guò)自適應(yīng)中值濾波算法實(shí)施圖像的去噪處理。在粗糙度參數(shù)評(píng)定模塊中，根據(jù)取樣長(zhǎng)度對(duì)評(píng)定長(zhǎng)度下定義，實(shí)施光學(xué)元件表面粗糙度的全面評(píng)定。利用設(shè)計(jì)系統(tǒng)測(cè)量三種光學(xué)元件的表面粗糙度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果... （共5頁(yè)）