霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法。通過(guò)霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)測(cè)定的霍爾系數(shù),能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù)。
原理
由霍爾效應(yīng)的原理知,霍爾電勢(shì)的大小取決于:Rh為霍爾常數(shù),它與半導(dǎo)體材質(zhì)有關(guān);IC為霍爾元件的偏置電流;B為磁場(chǎng)強(qiáng)度;d為半導(dǎo)體材料的厚度。
對(duì)于一個(gè)給定的霍爾器件,當(dāng)偏置電流Ic固定時(shí),Vh將完全取決于被測(cè)的磁場(chǎng)強(qiáng)度B。
一個(gè)霍爾元件一般有四個(gè)引出端子,其中兩根是霍爾元件的偏置電流IC的輸入端,另兩根是霍爾電壓的輸出端。如果兩輸出端構(gòu)成外回路,就會(huì)產(chǎn)生霍爾電流。一般地說(shuō),偏置電流的設(shè)定通常由外部的基準(zhǔn)電壓源給出;若精度要求高,則基準(zhǔn)電壓源均用恒流源取代。為了達(dá)到高的靈敏度,有的霍爾元件的傳感面上裝有高導(dǎo)磁系數(shù)的坡莫合金;這類傳感器的霍爾電勢(shì)較大,但在0.05T左右出現(xiàn)飽和,僅適用在低量限、小量程下使用。
在半導(dǎo)體薄片兩端通以控制電流I,并在薄片的垂直方向施加磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的勻強(qiáng)磁場(chǎng),則在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上,將產(chǎn)生電勢(shì)差為UH的霍爾電壓。
元件
根據(jù)霍爾效應(yīng),人們用半導(dǎo)體材料制成的元件叫霍爾元件。它具有對(duì)磁場(chǎng)敏感、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、頻率響應(yīng)寬、輸出電壓變化大和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),因此,在測(cè)量、自動(dòng)化、計(jì)算機(jī)和信息技術(shù)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
分類
霍爾傳感器分為線型霍爾傳感器和開(kāi)關(guān)型霍爾傳感器兩種。
?。ㄒ唬╅_(kāi)關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件、差分放大器,斯密特觸發(fā)器和輸出級(jí)組成,它輸出數(shù)字量。開(kāi)關(guān)型霍爾傳感器還有一種特殊的形式,稱為鎖鍵型霍爾傳感器。
?。ǘ┚€性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成,它輸出模擬量。
線性霍爾傳感器又可分為開(kāi)環(huán)式和閉環(huán)式。閉環(huán)式霍爾傳感器又稱零磁通霍爾傳感器。線性霍爾傳感器主要用于交直流電流和電壓測(cè)量。.
開(kāi)關(guān)型
如圖4所示,其中BOP為工作點(diǎn)“開(kāi)”的磁感應(yīng)強(qiáng)度,BRP為釋放點(diǎn)“關(guān)”的磁感應(yīng)強(qiáng)度。當(dāng)外加的磁感應(yīng)強(qiáng)度超過(guò)動(dòng)作點(diǎn)Bop時(shí),傳感器輸出低電平,當(dāng)磁感應(yīng)強(qiáng)度降到動(dòng)作點(diǎn)Bop以下時(shí),傳感器輸出電平不變,一直要降到釋放點(diǎn)BRP時(shí),傳感器才由低電平躍變?yōu)楦唠娖?。Bop與BRP之間的滯后使開(kāi)關(guān)動(dòng)作更為可靠。
鎖鍵型
如圖5所示,當(dāng)磁感應(yīng)強(qiáng)度超過(guò)動(dòng)作點(diǎn)Bop時(shí),傳感器輸出由高電平躍變?yōu)榈碗娖?,而在外磁?chǎng)撤消后,其輸出狀態(tài)保持不變(即鎖存狀態(tài)),必須施加反向磁感應(yīng)強(qiáng)度達(dá)到BRP時(shí),才能使電平產(chǎn)生變化。
線性型
輸出電壓與外加磁場(chǎng)強(qiáng)度呈線性關(guān)系,如圖3所示,可見(jiàn),在B1~B2的磁感應(yīng)強(qiáng)度范圍內(nèi)有較好的線性度,磁感應(yīng)強(qiáng)度超出此范圍時(shí)則呈現(xiàn)飽和狀態(tài)。
開(kāi)環(huán)式電流傳感器
由于通電螺線管內(nèi)部存在磁場(chǎng),其大小與導(dǎo)線中的電流成正比,故可以利用霍爾傳感器測(cè)量出磁場(chǎng),從而確定導(dǎo)線中電流的大小。利用這一原理可以設(shè)計(jì)制成霍爾電流傳感器。其優(yōu)點(diǎn)是不與被測(cè)電路發(fā)生電接觸,不影響被測(cè)電路,不消耗被測(cè)電源的功率,特別適合于大電流傳感。 霍爾電流傳感器工作原理如圖6所示,標(biāo)準(zhǔn)圓環(huán)鐵芯有一個(gè)缺口,將霍爾傳感器插入缺口中,圓環(huán)上繞有線圈,當(dāng)電流通過(guò)線圈時(shí)產(chǎn)生磁場(chǎng),則霍爾傳感器有信號(hào)輸出。
閉環(huán)式電流傳感器
磁平衡式電流傳感器也叫霍爾閉環(huán)電流傳感器,也稱補(bǔ)償式傳感器,即主回路被測(cè)電流Ip在聚磁環(huán)處所產(chǎn)生的磁場(chǎng)通過(guò)一個(gè)次級(jí)線圈,電流所產(chǎn)生的磁場(chǎng)進(jìn)行補(bǔ)償, 從而使霍爾器件處于檢測(cè)零磁通的工作狀態(tài)。
磁平衡式電流傳感器的具體工作過(guò)程為:當(dāng)主回路有一電流通過(guò)時(shí),在導(dǎo)線上產(chǎn)生的磁場(chǎng)被聚磁環(huán)聚集并感應(yīng)到霍爾器件上, 所產(chǎn)生的信號(hào)輸出用于驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的功率管并使其導(dǎo)通,從而獲得一個(gè)補(bǔ)償電流Is。 這一電流再通過(guò)多匝繞組產(chǎn)生磁場(chǎng) ,該磁場(chǎng)與被測(cè)電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)正好相反,因而補(bǔ)償了原來(lái)的磁場(chǎng), 使霍爾器件的輸
出逐漸減小。當(dāng)與Ip與匝數(shù)相乘 所產(chǎn)生的磁場(chǎng)相等時(shí),Is不再增加,這時(shí)的霍爾器件起指示零磁通的作用 ,此時(shí)可以通過(guò)Is來(lái)平衡。被測(cè)電流的任何變化都會(huì)破壞這一平衡。 一旦磁場(chǎng)失去平衡,霍爾器件就有信號(hào)輸出。經(jīng)功率放大后,立即就有相應(yīng)的電流流過(guò)次級(jí)繞組以對(duì)失衡的磁場(chǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。從磁場(chǎng)失衡到再次平衡,所需的時(shí)間理論上不到1μs,這是一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡的過(guò)程。
霍爾電流傳感器具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、 霍爾傳感器可以測(cè)量任意波形的電流和電壓,如:直流、交流、脈沖波形等,甚至對(duì)瞬態(tài)峰值的測(cè)量。副邊電流忠實(shí)地反應(yīng)原邊電流的波形。而普通互感器則是無(wú)法與其比擬的,它一般只適用于測(cè)量50Hz正弦波;
2、 原邊電路與副邊電路之間有良好的電氣隔離;
3、精度高:在工作溫度區(qū)內(nèi)精度優(yōu)于1%,該精度適合于任何波形的測(cè)量;
4、線性度好:優(yōu)于0.1%;
5、寬帶寬:高帶寬的電流傳感器上升時(shí)間可小于1μs;
6、測(cè)量范圍:霍爾傳感器為系列產(chǎn)品,電流測(cè)量可達(dá)50KA,電壓測(cè)量可達(dá)6400V。
7、過(guò)載能力強(qiáng):當(dāng)原邊電流超負(fù)荷,模塊達(dá)到飽和,可自動(dòng)保護(hù),即使過(guò)載電流是額定值的20倍時(shí),模塊也不會(huì)損壞。
霍爾電流傳感器使用時(shí),需遵循以下注意事項(xiàng):
1、為了得到較好的動(dòng)態(tài)特性和靈敏度,必須注意原邊線圈和副邊線圈的耦合,要耦合得好,最好用單根導(dǎo)線且導(dǎo)線完全填滿霍爾傳感器模塊孔徑。
2、使用中當(dāng)大的直流電流流過(guò)傳感器原邊線圈,且次級(jí)電路沒(méi)有接通電源|穩(wěn)壓器或副邊開(kāi)路,則其磁路被磁化,而產(chǎn)生剩磁,影響測(cè)量精度(故使用時(shí)要先接通電源和測(cè)量端M),發(fā)生這種情況時(shí),要先進(jìn)行退磁處理。其方法是次邊電路不加電源,而在原邊線圈中通一同樣等級(jí)大小的交流電流并逐漸減小其值。
3、霍爾傳感器都具有較強(qiáng)的抗外磁場(chǎng)干擾能力,但是,為了獲得較高的測(cè)量準(zhǔn)確度,當(dāng)有較強(qiáng)的磁場(chǎng)干擾時(shí),要采取適當(dāng)?shù)拇胧﹣?lái)解決。通常方法有:
調(diào)整模塊方向,使外磁場(chǎng)對(duì)模塊的影響最??;
在模塊上加罩一個(gè)抗磁場(chǎng)的金屬屏蔽罩。
4、測(cè)量的最佳精度是在額定值下得到的,當(dāng)被測(cè)電流遠(yuǎn)低于額定值時(shí),要獲得最佳精度,原邊可使用多匝,但是,需要注意導(dǎo)線的空間位置(參照第一條)。
應(yīng)用
霍爾器件具有許多優(yōu)點(diǎn),它們的結(jié)構(gòu)牢固,體積小,重量輕,壽命長(zhǎng),安裝方便,功耗小,頻率高(可達(dá)1MHZ),耐震動(dòng),不怕灰塵、油污、水汽及鹽霧等的污染或腐蝕。
霍爾線性器件的精度高、線性度好;霍爾開(kāi)關(guān)器件無(wú)觸點(diǎn)、無(wú)磨損、輸出波形清晰、無(wú)抖動(dòng)、無(wú)回跳、位置重復(fù)精度高(可達(dá)μm級(jí))。取用了各種補(bǔ)償和保護(hù)措施的霍爾器件的工作溫度范圍寬,可達(dá)-55℃~150℃。
按被檢測(cè)的對(duì)象的性質(zhì)可將它們的應(yīng)用分為:直接應(yīng)用和間接應(yīng)用。前者是直接檢測(cè)出受檢測(cè)對(duì)象本身的磁場(chǎng)或磁特性,后者是檢測(cè)受檢對(duì)象上人為設(shè)置的磁場(chǎng),用這個(gè)磁場(chǎng)來(lái)作被檢測(cè)的信息的載體,通過(guò)它,將許多非電、非磁的物理量例如力、力矩、壓力、應(yīng)力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、轉(zhuǎn)數(shù)、轉(zhuǎn)速以及工作狀態(tài)發(fā)生變化的時(shí)間等,轉(zhuǎn)變成電量來(lái)進(jìn)行檢測(cè)和控制。
位移測(cè)量
兩塊永久磁鐵同極性相對(duì)放置,將線性型霍爾傳感器置于中間,其磁感應(yīng)強(qiáng)度為零,這個(gè)點(diǎn)可作為位移的零點(diǎn),當(dāng)霍爾傳感器在Z軸上作△Z位移時(shí),傳感器有一個(gè)電壓輸出,電壓大小與位移大小成正比。
力測(cè)量
如果把拉力、壓力等參數(shù)變成位移,便可測(cè)出拉力及壓力的大小,按這一原理可制成的力傳感器。
角速度測(cè)量
在非磁性材料的圓盤(pán)邊上粘一塊磁鋼,霍爾傳感器放在靠近圓盤(pán)邊緣處,圓盤(pán)旋轉(zhuǎn)一周,霍爾傳感器就輸出一個(gè)脈沖,從而可測(cè)出轉(zhuǎn)數(shù)(計(jì)數(shù)器),若接入頻率計(jì),便可測(cè)出轉(zhuǎn)速。
線速度測(cè)量
如果把開(kāi)關(guān)型霍爾傳感器按預(yù)定位置有規(guī)律地布置在軌道上,當(dāng)裝在運(yùn)動(dòng)車輛上的永磁體經(jīng)過(guò)它時(shí),可以從測(cè)量電路上測(cè)得脈沖信號(hào)。根據(jù)脈沖信號(hào)的分布可以測(cè)出車輛的運(yùn)動(dòng)速度。
注意事項(xiàng)
?。?)電流傳感器必須根據(jù)被測(cè)電流的額定有效值適當(dāng)選用不同的規(guī)格的產(chǎn)品。被測(cè)電流長(zhǎng)時(shí)間超額,會(huì)損壞末極功放管(指磁補(bǔ)償式),一般情況下,2倍的過(guò)載電流持續(xù)時(shí)間不得超過(guò)1分鐘。
?。?)電壓傳感器必須按產(chǎn)品說(shuō)明在原邊串入一個(gè)限流電阻R1,以使原邊得到額定電流,在一般情況下,2倍的過(guò)壓持續(xù)時(shí)間不得超過(guò)1分鐘。
?。?)電流電壓傳感器的最佳精度是在原邊額定值條件下得到的,所以當(dāng)被測(cè)電流高于電流傳感器的額定值時(shí),應(yīng)選用相應(yīng)大的傳感器;當(dāng)被測(cè)電壓高于電壓傳感器的額定值時(shí),應(yīng)重新調(diào)整限流電阻。當(dāng)被測(cè)電流低于額定值1/2以下時(shí),為了得到最佳精度,可以使用多繞圈數(shù)的辦法。
?。?)絕緣耐壓為3KV的傳感器可以長(zhǎng)期正常工作在1KV及以下交流系統(tǒng)和1.5KV及以下直流系統(tǒng)中,6KV的傳感器可以長(zhǎng)期正常工作在2KV及以下交流系統(tǒng)和2.5KV及以下直流系統(tǒng)中,注意不要超壓使用。
?。?)在要求得到良好動(dòng)態(tài)特性的裝置上使用時(shí),最好用單根銅鋁母排并與孔徑吻合,以大代小或多繞圈數(shù),均會(huì)影響動(dòng)態(tài)特性。
?。?)在大電流直流系統(tǒng)中使用時(shí),因某種原因造成工作電源開(kāi)路或故障,則鐵心產(chǎn)生較大剩磁,是值得注意的。剩磁影響精度。退磁的方法是不加工作電源,在原邊通一交流并逐漸減小其值。
?。?)傳感器抗外磁場(chǎng)能力為:距離傳感器5~10cm一個(gè)超過(guò)傳感器原邊電流值2倍的電流,所產(chǎn)生的磁場(chǎng)干擾可以抵抗。三相大電流布線時(shí),相間距離應(yīng)大于5~10cm。
?。?)為了使傳感器工作在最佳測(cè)量狀態(tài),應(yīng)使用圖1-10介紹的簡(jiǎn)易典型穩(wěn)壓電源。
?。?)傳感器的磁飽和點(diǎn)和電路飽和點(diǎn),使其有很強(qiáng)的過(guò)載能力,但過(guò)載能力是有時(shí)間限制的,試驗(yàn)過(guò)載能力時(shí),2倍以上的過(guò)載電流不得超過(guò)1分鐘。
?。?0)原邊電流母線溫度不得超過(guò)85℃,這是ABS工程塑料的特性決定的,用戶有特殊要求,可選高溫塑料做外殼。
案例
霍爾傳感器技術(shù)應(yīng)用于汽車工業(yè)
霍爾傳感器技術(shù)在汽車工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,包括動(dòng)力、車身控制、牽引力控制以及防抱死制動(dòng)系統(tǒng)。為了滿足不同系統(tǒng)的需要,霍爾傳感器有開(kāi)關(guān)式、模擬式和數(shù)字式傳感器三種形式。[1]
霍爾傳感器可以采用金屬和半導(dǎo)體等制成,效應(yīng)質(zhì)量的改變?nèi)Q于導(dǎo)體的材料,材料會(huì)直接影響流過(guò)傳感器的正離子和電子。制造霍爾元件時(shí),汽車工業(yè)通常使用三種半導(dǎo)體材料,即砷化鎵、銻化銦以及砷化銦。最常用的半導(dǎo)體材料當(dāng)屬砷化銦。
霍爾傳感器的形式?jīng)Q定了放大電路的不同,其輸出要適應(yīng)所控制的裝置。這個(gè)輸出可能是模擬式,如加速位置傳感器或節(jié)氣門位置傳感器,也可能是數(shù)字式。如曲軸或凸輪軸位置傳感器。
當(dāng)霍爾元件用于模擬式傳感器時(shí),這個(gè)傳感器可以用于空調(diào)系統(tǒng)中的溫度表或動(dòng)力控制系統(tǒng)中的節(jié)氣門位置傳感器?;魻栐c微分放大器連接,放大器與NPN晶體管連接。磁鐵固定在旋轉(zhuǎn)軸上,軸在旋轉(zhuǎn)時(shí),霍爾元件上的磁場(chǎng)加強(qiáng)。其產(chǎn)生的霍爾電壓與磁場(chǎng)強(qiáng)度成比例。
當(dāng)霍爾元件用于數(shù)字信號(hào)時(shí),例如曲軸位置傳感器、凸輪軸位置傳感器或車速傳感器,必須首先改變電路?;魻栐c微分放大器連接,微分放大器與施密特觸發(fā)器連接。在這種配置中。傳感器輸出一個(gè)開(kāi)或關(guān)的信號(hào)。在多數(shù)汽車電路中,霍爾傳感器是電流吸收器或者使信號(hào)電路接地。要完成這項(xiàng)工作,需要一個(gè)NPN晶體管與施密特觸發(fā)器的輸出連接。磁場(chǎng)穿過(guò)霍爾元件,一個(gè)觸發(fā)器輪上的葉片在磁場(chǎng)和霍爾元件之間通過(guò)。
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